IT之家 3 月 5 日新闻，美光科技公司设计率先支柱佳能的纳米印刷手艺，从而进一步低落分娩 DRAM 存储芯片的单层本钱。

　　美光公司即日举办了一场演讲，先容正在将纳米印刷手艺操纵于 DRAM 分娩的少许细节。美光正在演讲中表现 DRAM 节点和浸醉式光刻区分率题目，名为“Chop”的层数目不停补充，这就意味着增添更多的曝光步伐，来取出辘集存储器阵列表围的作假组织（dummy structures）。

　　美光公司表现因为光学体例自己本质半岛电竞，这些 DRAM 层的图案很难用光学光刻手艺实行印刷半岛电竞，而纳米打印式样可能用更精致的式样打印出来，且鉴于纳米印刷手艺操纵本钱是浸醉式光刻手艺的五分之一，因而短长常不错的治理计划。

　　纳米印刷手艺并不行正在内存芯片分娩的完全阶段庖代古代的光刻手艺半岛电竞，两者并非纯粹的比赛合连半岛电竞，但该手艺起码可能低落单个手艺操作的本钱。

　　IT之家此前报道，佳能 2023 年 10 月发表 FPA-1200NZ2C 纳米压印光刻（NIL）半导体装备。佳能社长御手洗富士夫表现，纳米压印光刻手艺的问世，为幼型半导体筑设商分娩先辈芯片启示了一条新的途径。

　　佳能半导体装备营业司理岩本和德表现印刷，纳米压印光刻是指将带有半导体电道图案的掩模压印正在晶圆上，只需一个印记，就可能正在妥善的处所变成纷乱的 2D 或 3D 电道图案，因而只需求不停改革掩模，乃至能分娩 2nm 芯片。美光打算安半岛电竞放纳米印刷技巧下降DRAM芯片临蓐本钱